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WF₆

현재 유일하게 안정적이고 산업화된 텅스텐 플루오라이드 유형입니다.주로 전자산업에서 텅스텐 화학기상증착(CVD) 공정의 원료로 사용된다.그것으로 만든 WSi2는 대규모 집적회로의 배선재료, 반도체 전극의 원료, 불소화제, 중합촉매, 광학재료 등으로 활용될 수 있다.

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