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CF₄

물에 불용성.그것은 할로겐화 탄화수소이며 할로겐화 탄화수소, 할로겐화 메탄, 과불화탄소로 간주되거나 무기 화합물로 간주될 수 있습니다.레이저 가스 및 냉매로도 사용되는 다양한 집적 회로 플라즈마 에칭 공정에 주로 사용됩니다.

CF4-분자式xiangqing

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