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Cl₆Si₂ (HCDS)

Hexachlorodisilane은 화학식 Si₂Cl₆의 무기 화합물로 대부분의 공기 중에서 발연하는 무색 액체입니다.그것은 시약 및 실리콘 금속에 대한 휘발성 전구체로서 특수 응용 분야를 가지고 있습니다.

용도：반도체/CVD

순도：99.999%

CAS:13465-77-5

패키지: 실린더/드럼

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